射线激起被测样品外表纳米标准内的原子发射光电子，经过体系探测到所发射光电子的动能等信息，从而剖析样品外表的元素品种及化合态的定性和定量剖析的一种技能。

  1.惯例测验：剖析样品外表的元素品种、化学价态以及相对含量，最小能量分辨率优于0.43eV，束斑规模为20-900µm；

  2.离子刻蚀：可完成样品外表清洁、深度剖析，了解元素随三维深度散布的状况；

  3.成像剖析：对样品外表不同元素或化学态给出头散布可完成快速成像，进行缺点剖析、外表污染检测，外表处理技能等，空间分辨率可达1μm；

  4.紫外光电子能谱（UPS）:完成样品的价带谱信息，研讨样品的价电子和能带结构及功函数；

  7.准原位气体反响池：可通入气体包含：氧气、氢气、氩气、氮气以及混合配气，最高温度为1200K。

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